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本实用新型提供一种硅基晶圆测试夹具，夹持机构包括设置在支撑组件上的固定盘、四根呈圆周阵列垂直设置在固定盘顶端端面上的定位杆、设置在固定盘上并驱动四根定位杆相互靠近的调节组件、穿设于固定盘顶端开设卡接槽内的卡接柱、以及设置在卡接柱上的滚动吸附组件；滚动吸附组件包括活动穿设于卡接柱顶端端面开设密封槽内的滚珠、设置在密封槽底壁上且顶端连接滚珠的缓冲弹簧、以及连接密封槽内部的进出气件，滚珠位于密封槽上方位置的部分占总体体积的五分之一；本实用新型可以便捷的对不同尺寸大小晶圆进行夹持固定，避免了与晶圆检测端
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220795323U
(45)授权公告日2024.04.16
(21)申请号202322639443.2
(22)申请日2023.09.27
(73)专利权人合肥控拓装备科技有限公司
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