氟化铵水溶液及BOE工艺流程说明(1)(1).docxVIP

氟化铵水溶液及BOE工艺流程说明

一：反应方程式

NH3+HF=NH4F

二：工艺流程图

三：工艺流程

氟化铵吸收配制工序

提前将49%电子级氢氟酸加入循环罐内，加入计算好的超纯水，将氢氟酸浓度稀释到规定浓度。

启动循环泵将氢氟酸送入吸收塔内进行循环，高纯氨气经过过滤后，从吸收塔底进入塔内，在填料表面与自上而下的氢氟酸接触反应，生成氟化铵后，从吸收塔底部流出，进入循环罐内，再次由循环泵输送，进入四氟冷凝器，移走反应生成热后，再次进入吸收内吸收氨气，如此循环反应，直到循环罐达到设备的重量后，取样分析PH值合格后送人氟化铵成品罐，氟化铵成品经过二级过滤送部分去分装柜，部分去下一步BOE配制工序。

BOE配制工序

BOE配制罐按要求分别进入氟化铵水溶液、电子级氢氟酸、超纯水，通过称重系统自动控制各物料加入量，并通过循环泵混合均匀，进料时排气阀打开，出料时自动开启氮封系统，保持罐内压力500-800Pa。

配制罐出料管线设置二台精密过滤器，滤芯采用PTFE折叠滤芯，成品BOE溶液经过二级精密过滤反复过滤后，送往罐装系统包装外售。