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本申请涉及一种超声固化微压印成型方法及装置,在超声打印头工作端的表面预制加工出目标微结构的母版结构,通过该超声打印头对基片上涂覆的热固性的液态材料进行超声固化加工,加工时,超声打印头工作端与基片上的液态材料的液面相接触,在超声微压印成型过程中,超声除了能让液态材料固化成型,还能促进液态材料流动,能够充分填充微结构,使得微结构成型精度高;该方法效率高、精度高、成本低、节能环保、操作方便、对环境条件要求低;只需在超声打印头端面加工出微结构阵列即可实现固化压印成型,可以实现批量连续成型,且后续更换超声
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN115416286A
(43)申请公布日2022.12.02
(21)申请号202210843480.2B33Y30/00(2015.01)
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