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本发明涉及一种柔性放大机构及并联微纳定位平台,包括输入梁,输入梁的中部与压电陶瓷的输出端连接,输入梁的两个端部均通过柔性铰链连接连杆,两个连杆相对于压电陶瓷对称设置,连杆通过柔性铰链与输出块连接以形成三角形位移放大机构,两个输出块之间设有曲梁,压电陶瓷穿过曲梁后与基座固定,输出块与杠杆放大机构的输入端连接,杠杆放大机构的输出端与半桥式放大机构的输入端连接,两个杠杆放大机构和两个半桥式放大机构均相对于压电陶瓷对称设置,两个桥式放大机构之间连接输出梁,本发明的柔性放大机构消除了寄生位移,使得整个平台
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117914179A
(43)申请公布日2024.04.19
(21)申请号202410035787.9
(22)申请日2024.01.09
(71)申请人山东大学
地址250061
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