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本发明涉及石英玻璃坩埚及使用该石英玻璃坩埚的单晶硅的制造方法。本发明提供可提高氧浓度低的单晶硅的制造成品率的石英玻璃坩埚。本发明的石英玻璃坩埚(1)具有圆筒状的侧壁部(10a)、底部(10b)和连接侧壁部(10a)与底部(10b)的角部(10c),所述石英玻璃坩埚(1)具备:透明层(11),由不含气泡的石英玻璃构成;气泡层(12),形成在透明层(11)的外侧,由包含多个气泡的石英玻璃构成;以及半熔融层(13),形成在气泡层12的外侧,原料二氧化硅粉在半熔融的状态下凝固而成。去除半熔融层(13)的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117904703A
(43)申请公布日2024.04.19
(21)申请号202410082199.0(51)Int.Cl.
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