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本发明公开了一种应用于2.5维异质集成光波导的高效非对称定向耦合器，即氮化硅与硅异质集成的非对称定向耦合器，其结构由二氧化硅衬底、氮化硅波导、硅波导构成，其中硅波导中一部分采用亚波长光栅槽波导，以实现光在两组异质波导之间的绝热耦合。这种新型的“2.5维”异质集成的方法是指光波导器件处于同一平面，在平面上进行异质结构的功能拓展。本发明不仅性能优异，在设计上更简单且耦合条件更自由，易于制造，可以为硅基异质集成技术提供一些新型的2.5维集成的光学耦合的方案及基础技术支持。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117908189A
(43)申请公布日2024.04.19
(21)申请号202311859460.5
(22)申请日2023.12.30
(71)申请人浙江大学嘉兴研究
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