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一种极小尺寸掩膜版涂胶用夹具.pdfVIP

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  • 2024-04-21 发布于四川
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一种极小尺寸掩膜版涂胶用夹具.pdf

    本实用新型公开了一种极小尺寸掩膜版涂胶用夹具，包括放置底座，放置底座外径尺寸与任一大批量生产的掩膜版尺寸相适应；在放置底座上设置容置槽，容置槽中心位于放置底座中心正上方，待涂胶的极小尺寸掩膜版置于容置槽内，容置槽的底面上设置有一抽真空孔、若干支撑柱和一密封环，抽真空孔和所有支撑柱均位于密封环内侧，且密封环外径小于待涂胶的极小尺寸掩膜版外径；所有支撑柱形成支撑待涂胶的极小尺寸掩膜版的支撑面，在待涂胶的极小尺寸掩膜版放置于容置槽内前，密封环顶面位置高于支撑柱的支撑面；本实用新型涂胶用夹具，解决现有技

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN220804145U

    (45)授权公告日2024.04.19

    (21)申请号202322250257.X

    (22)申请日2023.08.22

    (73)专利权人合肥清溢光电有限公司

    地址2

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