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北京大学物理学院研究生教材——俞大鹏2004.9

第五章相位衬度的起源与理论-高分辨理论

高分辨研究简史

关于高分辨透射电子显微镜的基本成像理论，Boersch早在1946年在研究电子与原子的相互作用时就提出，固体中的原子会对在其中传播的电子束进行调制，改变电子波的相位。他认为，利用电子波的相位变化，有可能观察到单个原子，可以用来分析固体中原子的排列方式。这一理论实际上成为现代实验高分辨电子显微分析方法的理论依据；1947年，德国科学家Scherzer提出，磁透镜的离焦(defocus,即所谓的Scherzer最佳欠焦量，而非通常的高斯正焦)能够补偿因透镜缺陷(球差)引起的相位差，从而

可显著提高电子显微镜的空间分辨率。

高分辨试验方面的最初结果首先是由Menter在1956年做出的。在20世纪50年代，由于透射电镜的线分辨率只有1.2纳米，点分辨率更差，大大限制了这一时期高分辨电子显微技术的应用。直到1970年代，透射电镜点分辨率已达到几个埃的水平，对高

分辨电子显微学的应用创造了良好的物质基础。

1957年，美国Arizona洲立大学物理系的Cowley教授等利用物理光学方法来研究电子束与固体的相互作用，并用所谓“多层法”计算相位衬度随样品厚度、离焦量的变化，从而定量地解释所观察