GB/T 10067.417-2023电热和电磁处理装置基本技术条件 第417部分:碳化硅单晶生长装置.pdf

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  • 2024-04-29 发布于四川
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  •   |  2023-05-23 颁布
  •   |  2023-12-01 实施

GB/T 10067.417-2023电热和电磁处理装置基本技术条件 第417部分:碳化硅单晶生长装置.pdf

ICS25.180.10

CCSK61GB

中华人民共和国国家标准

GB/T10067.417-2023

电热和电磁处理装置基本技术条件

第417部分:碳化硅单晶生长装置

Basicspecificationsforelectroheatingandelectromagneticprocessing

installations-Part417:Siliconcarbidecrystalgrowthinstallations

2023-12-01实施

2023-05-23发布

国家市场监督管理总局唱#

国家标准化管理委员会GX.IIJ

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