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- 2024-04-29 发布于四川
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正版发售
- 现行
- 正在执行有效期
- | 2023-05-23 颁布
- | 2023-12-01 实施
ICS25.180.10
CCSK61GB
中华人民共和国国家标准
GB/T10067.417-2023
电热和电磁处理装置基本技术条件
第417部分:碳化硅单晶生长装置
Basicspecificationsforelectroheatingandelectromagneticprocessing
installations-Part417:Siliconcarbidecrystalgrowthinstallations
2023-12-01实施
2023-05-23发布
国家市场监督管理总局唱#
国家标准化管理委员会GX.IIJ
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