激光干涉仪测量原理.pdfVIP

激光干预仪原理介绍

——线性测量与回转轴校准

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现代集成制造与数控装备研究所CIMS机械与汽车工程学院

一、根本概念

什么是激光干预仪？

Ø激光干预仪是利用激光作为长度基准，对数控设备(加

工中心、三座标测量机等〕的位置精度〔定位精度、重

复定位精度等〕、几何精度〔俯仰扭摆角度、直线度、

垂直度等〕进行精密测量的精密测量仪器。

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机床精度的21项误差

ForLinearmeasurement(3):

xdxydyzdz

ForAngularmeasurement(9):

AxBxCxAyByCyAzBzCz

ForStraightnessmeasurement(6):

xdyxdzydxydzzdxzdy

ForSquarenessmeasurement(3)

XZ,XY,YZ

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激光的产生

LASER是LightAmplificationbyStimulatedEmissionofRadiation

的缩写，意为通过受激发射线的放射到达光的放大，即激光。

大多数现代位移干预仪都使用氦氖(He-Ne)激光管，这些激光管具

有633纳米(nm)的波长输出

氦氖激光管的构成如下所示：

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激光及其特点

Ø激光输出可视为一束正弦波。

波长

Ø激光具有三个重要特性：

Ø激光波长非常稳定，可以精密测量测量的要求。

Ø激光波长非常短，可以用于高精度测量。

Ø激光具有干预特性。