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ICS31.030
CCSL90
电子气体羰基硫
Electronicgas—Carbonylsulfide
2024-03-15发布
国家市场监督管理总局
发布
国家标准化管理委员会
前言
起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。
本文件起草单位:福建久策气体股份有限公司、河南心连心深冷能源股份有限公司、天津绿菱气体
有限公司、中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司、华测检测认证集团股份有限公司、福建德尔科技股
份有限公司、广东华特气体股份有限公司、金宏气体股份有限公司、江西华特电子化学品有限公司、吴华
气体有限公司西南分公司、北京高麦克仪器科技有限公司、太和气体(荆州)有限公司、三峡大学、湖北和
远气体股份有限公司、兰州裕隆气体股份有限公司、杭氧集团股份有限公司、衙州杭氧特种气体有限公
司、液化空气(中国)投资有限公司、浙江省计量与标准化学会、浙江省标准化研究院、浙江中硝康鹏化学
有限公司、玉门大洋天庆石化有限责任公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、
联雄投资(上海)有限公司、中国计量科学研究院、上海凡伟仪器设备有限公司、浙江省化工研究院有限
公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、杭州新世纪混合气体有限公司、上海市计量测试技术研究院、
中吴光明化工研究设计院有限公司、大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司、哈尔滨黎明气体有
限公司、中国测试技术研究院化学研究所、空气化工产品(中国)投资有限公司、中国计量测试学会、北京
容信捷环保科技有限公司、浙江西亚特电子材料有限公司、浙江东开半导体科技有限公司、和立气体(上
海)有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、眉山麦克在线设备股份有限公司、西南化工研究设计
院有限公司。
本文件主要起草人:曹素英、毛玉凤、汤萍、吴禹强、郑梦杰、郑秋艳、倪珊珊、蔡金、黄斌斌、傅铸红、
陈艳珊、金向华、孙猛、廖恒易、李磊、孙福楠、郭琼、胡迎、牛艳东、刘丽娜、阳辉、汪正宏、袁有录、杜大艳、
曹小林、方强、尹爱华、王小波、何晖、李春胜、齐婕、朱安民、张孛媛、朱明、王子源、金雪光、马彬淇、方华、
孙震、赵爽、黄辉、王德发、尹冬梅、何波、唐中伟、史婉君、宫兵、杨金山、鲍光强、王见见、魏王慧、郝萍、
常侠、边鲁宁、邵成刚、周鑫、王晶、杨扬仲夫、赵洁、杨利、王立、梁永强、高静、张艺山、赖晓峰、周鹏云、
唐霞梅。
I
电子气体羰基硫
1范围
本文件规定了羰基硫的技术要求、采样、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息的
要求。
本文件适用于一氧化碳与硫为原料合成制备的电子用羰基硫。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文
件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于
本文件。
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本文件没有需要界定的术
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