SWR产品在多晶硅行业中的应用.ppt

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斯威尔中国斯威尔中国SWR产品在多晶硅行业中的应用张雄2008-082

斯威尔中国斯威尔中国多晶硅工业生产的原理（西门子法）氯化：还原：Si+3HCl=SiHCl3+H2+QSiHCl3+H2=Si+3HCl-Q3

斯威尔中国斯威尔中国多晶硅工艺流程图（西门子法)SiHCl3合成SiHCl3提纯SiHCl3还原多晶硅SiCl4氢化分离反应尾气干法回收与分离图1西门子法生产工艺流程图工业硅冶金级SolidFlowHCl（补充）H2（补充）H2（补充）SiSiHCl3SiCl4SiHCl3H2SiCl4SiHCl3、H2SiCl4、HClHCl4

斯威尔中国斯威尔中国多晶硅工业生产的原理（粒状多晶硅）硅烷分解：H2SiF6=SiF4+2H2SiH4=Si+2H2原料制备：Na+Al+2H2=NaAlH4硅烷合成：NaAlH4+SiF4=NaAlF4+SiH45

斯威尔中国斯威尔中国多晶硅工艺流程图(粒状多晶硅）图2粒状多晶硅生产工艺流程图NaAlH4合成SiH4生成溶剂中SiH4提纯硅烷化溶剂回收与NaAlF4分离SiH4分解制取多晶硅H2NaAlSolidFlowNaAlH4溶剂中粗制SiH4NaAlF4合格多晶硅脱氢硅脱氢干燥（粒状）（粒状）SolidFlowSiF4制取SiH4溶剂溶剂浆状NaAlF4H2细硅粉、H2SolidFlow6

斯威尔中国SolidFlow在多晶硅行业中的应用SolidFlow稳定硅粉的输送流量7

斯威尔中国斯威尔中国SolidFlow测量氯化铵粉末流量（自由下落）50℃8T/h安装在回转阀后,过滤器前均衡输送并且进行流水控制BASFAG,Ludwigshafen,GermanySolidFlow应用实例8

斯威尔中国斯威尔中国SolidFlow测量石灰粉末流量（气动）环境温度5T/h安装在回转阀后均衡输送并且进行流水控制BayerAG,Leverkusen,GermanySolidFlow应用实例9

斯威尔中国斯威尔中国SolidFlow测量钛铁矿粉末流量环境温度2-5T/h安装在螺旋给料机后，酸解槽之前均衡输送并且进行流水控制山东东佳集团金虹钛白粉厂SolidFlow应用实例10

斯威尔中国ProSens应用实例ProSens用于煤气的粉尘测量11

斯威尔中国ProSens用于烟气排放的粉尘测量ProSens应用实例12