109A2 无尘室环境检测规范.doc

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**WI-QA-109

A2

江新杨

袁春风

纪曾智

2018/7/21

PAGE\*Arabic8/NUMPAGES\*Arabic8

**管制文档，禁止复印

1.目的：

规范无尘室内温湿度标准及环境检测管理办法。

2.范围：

适用于**所有无尘室。

3.职责：

3.1无尘室管理课：负责无尘室内环境定期检测及检测数据的统计分析,无尘室检测异常的提出。

3.2生产部：负责对无尘室的日常维护、保养及点检，保持无尘室环境达标，负责温湿度计请购，异常时，温湿度异常通知厂务及时处理。

3.3厂务部：负责无尘室FFU高效及初效过滤网的更换及维修，负责温湿度异常处理及空调定期维护。

3.4设备部：负责无尘室的设备定期保养，机台及洁净棚过滤网维修，更换，新过滤网的请购。

3.5实验室：负责温湿度计定期校准。

4.定义：

4.1无尘室：也称洁净室,原文为“CleanRoom”,业界习惯以复合字“Cleanroom”称之,是将室内的环境因子控制在规定之数值以下的空间。

4.2室内环境因子：包括空气中的粒状污染物、气状污染物、温度、相对湿度、气流形态、风速、压力、照明、噪音、微振动、静电及电磁波等。

5.作业内容：

5.1无尘室洁净度检测：

5.1.1静态检测：生产设备安装完毕,且正常运行但无人员工作状态下检测。

5.1.2动态检测：生产设备安装完毕正常运行,工作人员正常工作状态下检测（无尘室环境监测采用动态检测，机台设备内条件允许，采用动态检测）。

5.2检测周期：无尘室大环境测试1次/天，机台作业面区域1次/周，由无尘室管理课负责检测，检测结果记录在《洁净度点检记录表》，FFU过滤网检测1次/年度，生产依据检测排查结果，开出工程请购申请，请购滤网进行更换。

5.3检测方式：

5.3.1检测时使用采样量大于1L/min的光学粒子计数器。

5.3.2测量时位于工作区的高度(距离地面高度约0.8m～1m)处进行检测,测量时间最少为1min。

5.4检测异常处理及流程图：j

洁净度检测人员对检测结果进行判定，如检测结果超出管控标准，无尘室管理课填写《无尘室洁净度测试异常联络单》，要求产线和相关部门(机电或设备)进行改善，改善完成0.5H后由洁净度检测人员进行复测，改善确认OK后再进行生产。如检测结果超出管理标准，无尘室管理部现场查看分析原因，要求生产和相关部门（机电或设备）整改，改善完成，由洁净度检测人员进行复测，改善确认OK后再记录档案。

流程图

责任单位

文件/记录表单

《洁净度点检记录表》

**QA-109-01

《无尘室洁净度测试异常联络单》**QA-109-07

5.4.2管理、管控标准定义：管理标准为管控标准的80%以内。

等级

标准

0.3um/Ft3

0.5um/Ft3

5.0um/Ft3

备注

百级

管理标准

150

50

0

管控标准

300

100

0

千级

管理标准

-

500

4

管控标准

-

996

7

万级

管理标准

7969

56

管控标准

9962

70

5.5检测方法要求：

5.5.1参考：ISO14644-1/2

NEBBProceduralStandardforCertifiedTestingofCleanroom(美国对洁净室认证程序标准)

5.5.2无尘室的测试点以不少于总面积开平方根的数量来均匀划分。具体布点根据生产机台布局分布。（例如：100平米车间至少需设置10个检测点以上，1000平米车间至少需设置32个检测点以上）

5.5.3取样量为每分钟1个立方英尺(即1ft3/min),取样时间为一分钟。

5.5.4在每个点的中心最小取一分钟，高度在0.8米左右。（靠近人员实际作业区域）

5.5.5当有障碍物时采样点放在障碍物12英寸（1英寸=2.54厘米）上面。

5.5.6机台内部洁净度检测为动态检测，位置接近工艺点或产品制程点，配备测试导管，重点机台监控，持续保证正常，由无尘室管理课负责检测；

5.5.7机台FFU在生产过程中必须保证开启状态，生产部每天点检FFU开关状态，发现停机立即开启，如有故障立即停机停产并通知设备处理。

5.5.8机台FFU每个月进行一次风速测试，形成记录存底，并记录在。

5.6检测等级判定：

5.6.1本司检测设备检测量为2.83L/min(即0.1ft3/min)。注：1ft3=28.3L

5.6.2依据FS-