295A0 无尘室ffu标准作业规范.docx

秘密等级

商业秘密

文件编号

版本号

制定

审核

核准

生效日期

页码

受控章

DocumentNo

EditionNo.

Originator

Examiner

Approval

Effective

page

Controlledstamp

**WI-QA-295

A0

江新杨

袁春风

纪曾智

2018/7/26

PAGE\*Arabic1/NUMPAGES\*Arabic6

**管制文档，禁止复印

1.目的：

建立FFU系统操作保养维修规范,保证无尘室气流组织正常,维持车间洁净度正常。

2.范围：

适用于**事业群各无尘室车间。

3.职责：

3.1无尘室管理课：负责无尘室洁净度监测，依据《无尘室FFU年度检查计划表》对FFU出风风速

定期监测管理，负责做成《FFU年度检测记录表》，并将量测结果给机电，设备，生产部。

3.2机电部：负责无尘室天花FFU的保养，维修，维护；

3.3设备部：负责检验台及机台的FFU的保养，维修，维护；

3.4生产部：负责请购新的FFU高效过滤网，依据无尘室管理课异常分析结果。

定义：

FFU:（FanFilterUnit）风机过滤单元，含高效过滤网，风机，电机，外壳。

HEPA:（HighEfficiencyPenetrationAirFilter）高效率过滤网,过滤效果达到99.99%

ULPA:（UltraEfficiencyPenetrationAirFilte）超高效率过滤网,过滤效果达到99.999%

作业内容：

5.1FFU其主要功能为：

5.1.1抽取定量之风量,维持室内正压度。

5.1.2提供一定之风速(0.36m/s~0.54m/s),与高架地板开孔率或回风墙配合,使层流及换气量能符

合无尘室洁净度基本要求。

5.1.3提供经FILTER滤除烟,雾,尘,微生物等之新鲜空气,使微粒子数量符合所需。

5.2.无尘室使用之滤网：

无尘室等级

使用滤网

滤网效率

处理尘埃粒径

Class100

ULPA

99.999%

@0.12μm

Class1,000

HEPA

99.997%

@0.3μm

Class10,000

HEPA

99.99%

@0.5μm

5.3FFU之动力

5.3.1FFU之回路共区分为多组回路，每一FFU群组装有8台~12台FFU。检验台和机台FFU为单

回路。

5.3.2电源接线采用带套管之电缆线，并采用快速接头方式，可于单一FFU故障维修时切离电源用。

5.3.3各FFU均有编号，所连接之FFU电缆在线亦有相对应之编号，以利判别各FFU属于何组回路。

5.4系统操作说明及注意事项：

5.4.1操作说明：无尘室FFU电源开关分别在各个楼层的配电房内，操作开关设置在无尘室车间现场，

各FFU有独立的电源，风速控制盒。

5.4.2FFU电机风扇组的拆卸更换操作：

5.4.2.1先将马达的电线与电路板分开，注意断电安全。

5.4.2.2将保护盖螺丝松开并拿出，松开风扇固定螺母。

5.4.2.3此时就可将风扇组取出。

5.4.2.4将电机的固定螺丝松开,可以取出电机。

5.4.2.5电机风扇组和上方的保护网即可分离，完成拆装程序。

5.5Filter（过滤网）常规更换操作：

5.5.1FFU滤网更换的标准是依据量测结果来判断，先将该Filter之FFU电源予以隔离，隔离方式是

将该台FFU之电路板上的电源插头拔出，使其断电。将故障指示灯从CeilingGrid之T-bar中拉

出。将该台FFU抬起。

5.5.2取出该待更换之Filter。

5.5.3将新的Filter放入，新滤网拆包注意轻拿轻放，不允许有硬物碰到滤网表面，取放边框受力。

5.5.4将FFU装回，安装回FFU要保证滤网边框密封效果。

5.5.5将FFU之电路板上的电源插头插入，使其送电。

5.5.6对新更换的Filter进行泄漏测试,所测得的Particle数须低于该Filter所订之Spec.以下。

5.6FFU检查维护操作：

5.6.1机电部对无尘室FFU需要定期巡检，每年度对所有的天花板FFU全面检查一遍，将FFU状态记录

下来，问题点记录并维修处理，检查FFU运转是否正常，如异音、振动等情形。

5.6.2每年年度维修时检查各线路之接点是否正常。

5.6.3无尘室天花夹层的FFU清洁保养有机电部主导完成，保证FFU滤网在标准范围内运行，滤网风

速，离滤网10CM量测，