067A1 ESD材料测试规范操作指导书.docx

秘密等级

商业秘密

文件编号

版本号

制定

审核

核准

生效日期

页码

受控章

DocumentNo

Edition

No.

Originator

Examiner

Approval

Effective

page

Controlledstamp

**WI-QA-067

A1

康嘉鹏

胡海根

王茂春

2017/12/28

PAGE17/17

**管制文档，禁止复印

目的

规范静电防护设施的测试方法，满足产品的静电防护的要求。

范围

适合公司EPA区域的防静电装备、材料的认证，来料和定期验证测试过程。

职责

ESD工程师：防静电装备、材料的认证测试、定期验证测试标准制订。

ESD技术员：防静电装备、材料的样品认证和定期验证测试,及异常提报。

专案推行：监督及跟踪各部门ESD异常改善跟踪。

SQM(IQC)：防静电装备、材料批量采购的来料测试,及异常提报、处理与跟踪。

3.5设备部：厂房内各静电手环插座、通电设备接地电阻测试。

3.6治具部：治具使用前测试与验收。

3.7采购部：防静电物品生产厂商认证，防静电物品材料引入，建立独立的防静电物品编码库，负责防静电装备、材料的采购，样品出厂ESD测试、材质成份报告、第三方检测报告、SGS检测报告的提交，送样测试。

3.8机电部：防静电、设备接地极每季度定期检测及记录存档。

3.9无尘室管理课：无尘服、鞋清洗后检测。

3.10生产部：静电手腕带、静电鞋、烙铁、电批接地电阻定期测试。

3.11品保部：监督生产执行各项静电防护规章制度，监督离子化设备定期维护保养情况，静电不良数据统计等。

定义

认证测试：对ESD设施批量采购前的样品认证测试。

来料测试：对ESD设施批量采购后符合性测试。

定期测试：为防止ESD设施的失效使用而确定的周期性测试。

接地极：埋入大地以便与大地良好接触的导体或几个导体组合。

表面电阻：在一给定通电时间之后，施加于材料表面上的标准电极之间的直流电压对电极之间的电流的比值。

接地电阻：被测物体测试表面与被测物体接地点之间电阻总和。

作业内容

测试环境要求：测试依照EPA环境要求。

测试方法规范：

接地极的电阻测试

测试仪器：摇表式或数显式接地电阻测试仪。

测量步骤：

将接地极引线端用导线与仪器端子E连接。

在相同直线方向的20m和40m的潮湿土地上，分别插入电位探测针和电流探测针，并连接仪器P和C端。

设置“倍率盘”倍数。

自缓到快摇动仪器手柄，达到120r/分钟,同时调整“测量标度盘”使指针位于零位时，读数乘以“倍率盘”倍数。即为接地电阻值。

按步骤3，4重复测量3次取平均值。

测试判定标准：4.0欧姆。

测试要求:新接地桩由机电部进行验收，并出示验收报告；验收ＯＫ的接地极机电部每季度检测1次并记录于《接地极电阻测试记录表》。

接地极电阻测试参考例图

腕带插座接地电阻测试

测试仪器：万用表。

测试步骤：

用黑表笔测试线插入测试仪器的“COM”端，红表笔测试线插入“VΩ”端。

动万用表的表盘旋钮至“Ω”端。

红表笔测试探针接ESD接地线公共点，黑表笔测试探针接腕带插座。

万用显示的数值即为腕带插座的接地电阻。

测试判定标准：1.0欧姆。

测试要求：新安装的接地插座设备进行验收及编号管理；正常使用接地插座设备部每月检测1次并记录于《插座/设备接地点检记录表》。

腕带插座接地测试参考例图

通电仪器、设备接地电阻测试

测试仪器：万用表。

测试步骤：

用黑表笔测试线插入测试仪器的“COM”端，红表笔测试线插入“VΩ”端。

动万用表的表盘旋钮至“Ω”端。

红表笔测试探针接电源插座接地孔，黑表笔测试探针接仪器、设备导电部分。

万用显示的数值即为设备的接地电阻。

测试判定标准：1.0欧姆。

测试要求：新安装的仪器、设备由设备进行验收及编号管理；正常使用仪器、设备由设备部每月检测1次并记录于《插座/设备接地点检记录表》。

设备接地测试参考例图

静电手腕带的测试

内环电阻测试：

测试仪器：万用表

测试步骤：

用黑表笔测试线插入测试仪器的“COM”端，红表笔测试线插入“VΩ”端。

旋动万用表的表盘旋钮至“Ω”端。

用红表笔测试探针插入腕带内环的铁片插孔，黑表笔测试探针接腕带弹性内环处并保证适当的紧贴。

万用表显示的数值为内环电阻值。

内环电阻标准：小于100K欧姆。

测试要求：新导入样品需通过实验室认证，并出示《样品ESD认证报告》，认证合格的样品才可批量申请;批量性采购的腕带IQC抽检并记录。

腕带内环测试例图

外环电阻测试：

测试仪器：万用表。

测试步骤：

用黑表笔测试线插入测试仪器的“COM”端，红表笔测试线插入“VΩ”端。

旋动万