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本发明提供了一种处理液喷洒方法及装置,所述处理液喷洒方法包括如下步骤:打开喷嘴的上游管路的阀门,向晶圆喷洒处理液;使用喷嘴驱动机构移动所述喷嘴,所述喷嘴的移动方向为所述晶圆的直径方向;在所述处理液在所述晶圆上的喷洒位置移动至所述晶圆的边缘之前,关闭所述阀门并继续移动所述喷嘴,使所述喷嘴与所述阀门之间管路内的所述处理液继续流出并喷洒于所述晶圆,所述喷嘴与所述阀门之间管路内的所述处理液在被施加一个沿喷嘴移动方向的水平力的状态下继续流出至所述晶圆上未被喷洒所述处理液的区域,能够减少晶圆处理液落在晶圆表
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118057577A
(43)申请公布日2024.05.21
(21)申请号202211446236.9B05B12/08(2006.01)
(22)申请日2022.11.
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