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本申请提供一种进气喷嘴装置以及等离子体刻蚀机，用于向等离子体刻蚀机的反应腔室提供工艺气体，所述进气喷嘴装置包括喷气头和输气部，所述喷气头包括底部和围绕所述底部的筒部，所述喷气头设置有贯通所述底部的中心喷气孔和侧向贯通所述筒部的侧向喷气孔；所述输气部的至少部分插装于所述筒部中，所述输气部可相对所述筒部移动，以调节至与所述中心喷气孔、所述侧向喷气孔中至少一者连通或者均不连通。通过输气部的移动，可以调节输气部与中心进气孔、侧向喷气孔的连通状态，实现边缘和中心分别进气，也可以边缘和中心同时进气，而且进气
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118057572A
(43)申请公布日2024.05.21
(21)申请号202211446616.2
(22)申请日2022.11.18
(71)申请人江苏鲁汶仪器股份有限公司
地址2
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