GB_T 43965-2024 电子级正硅酸乙酯.pdfVIP

ICS31.030

CCSL90

电子级正硅酸乙酯

2024-04-25发布

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

前言

起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。

本文件起草单位：金宏气体股份有限公司、湖北新蓝天新材料股份有限公司、武汉新硅科技潜江有

限公司、江苏南大光电材料股份有限公司、南大光电半导体材料有限公司、中国电子技术标准化研究院、

浙江中宁硅业股份有限公司、内蒙古兴洋科技股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、江阴润玛电子

材料股份有限公司、浙江衢州硅宝化工有限公司、湖北江瀚新材料股份有限公司、浙江开化合成材料有

限公司、广州赛西标准检测研究院有限公司。

本文件主要起草人：孙猛、金向华、赵俊莎、肖俊平、李楷东、吴怡然、曹可慰、赵斌、陶刚义、孙明璐、

陈德义、冯琼华、向冲、王成、黄天次、万烨、张园园、郭树虎、戈士勇、戈烨铭、何珂、李冲合、甘俊、陈道伟、

张明英。

I

电子级正硅酸乙酯

1范围

本文件规定了半导体行业用电子级正硅酸乙酯的技术要求、检验规则、型式试验、标志、包装、运输

及贮存的要求，描述了试验方法、分析方法与测定结果评价。

本文件适用于沉积二氧化硅的电子级正硅酸乙酯。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文

件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于

本文件。

GB190危险货物包装标志

GB/T191包装储运图示标志

GB/T3143液体化学产品颜色测定法(Hazen单位——铂-钴色号)

GB/T3723工业用化学产品采样安全通则

GB/T5099(所有部分)钢质无缝气瓶

GB/T6680液体化工产品采样通则

GB/T7144气瓶颜色标志

GB/T11446.1电子级水

GB/T14193液化气体气瓶充装规定

GB15258化学品安全标签编写规定

GB/T16804气瓶警示标签

GB/T25915.1洁净室及相关受控环境第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级

GB/T26793库仑法微量水分测定仪

GB/T33145大容积钢质无缝气瓶

GB/T37837四极杆电感耦合等离子体质谱方法通则

SJ/T11637电子化学品电感耦合等离子体质谱法通则

SJ/T11638电子化学品中颗粒的测试方法

TSG23气瓶安全技术规程

3术语和定义

本文件没有需要界定的术语和定义。

4技术要求

电子级正硅酸乙酯应符合表1的规定。

GB/T43965—2024

表1技术指标要求

指标要求

项目

光伏用(6N)平板显示用(8N)集成电路用(9N)

正硅酸乙酯纯度[Si(OC?H?),]/10~≥99.90≥99.95≥99.99

硼(B)含量/(pg/kg)≤10≤0.5

铝(Al)含量/(pg/kg)≤50≤5≤0.1