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本发明公开了一种化学气相沉积固态前驱体连续供给方法，涉及到铸造及实验设备技术领域，所述化学气相沉积固态前驱体连续供给方法通过固态前驱体连续供给设备实现，所述固态前驱体连续供给设备包括外壳，所述外壳内侧底部固定设置有反应釜，所述反应釜顶部固定嵌套设置有可控固态前驱体挥发装置，所述外壳内侧顶部设置有密封机构，所述密封机构正下方设置有容纳机构，所述容纳机构底部固定设置有阻隔机构，所述阻隔机构固定连接于可控固态前驱体挥发装置顶部。本发明自动化程度高且可以通过低位加料的方式实现原料供给，降低加料难度，节约
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118064868A
(43)申请公布日2024.05.24
(21)申请号202410219861.2
(22)申请日2024.02.28
(71)申请人浙江六方半导体科技有限公司
地址
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