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本发明提供了一种离子束发散角测量装置，包括：离子源，用于产生离子束流。小孔挡板，包括多个小孔，用于限制离子束流的路径，离子束流通过小孔的位置为第一位置。微通道板，用于对离子束流中的离子进行放大，以产生电子云信号。离子束流击中微通道板的位置为第二位置。阳极板，包括等间距分布的多个阳极条，用于采集电子云信号，并将电子云信号转换为电信号。以及处理模块，基于电信号中离子束流的第一距离和第二距离，生成离子束发散角信息。其中，基于微通道板与小孔挡板之间的间距得到第一距离，基于第一位置在微通道板上的水平投影的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118068391A
(43)申请公布日2024.05.24
(21)申请号202410460188.1
(22)申请日2024.04.17
(71)申请人中国科学技术大学
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