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本申请提供了一种线性蒸发源及其使用方法，所述线性蒸发源包括：第一本体和第二本体，以及位于第一本体和第二本体之间的真空阀，第一本体和第二本体通过连接装置连接；第一本体的外壁、第二本体的外壁分别环绕设置第一加热装置、第二加热装置；第一本体的顶部包含至少一个喷嘴；真空阀的开关通过PLC控制模块控制；真空阀关闭后，第二本体可拆卸。采用本申请提供的线性蒸发源，能够实现可持续性的进行蒸镀工艺，大大提高蒸镀效率，实现长时间蒸镀的效果，并保证了蒸镀工艺稳定性，进而提高了产品良率和产率。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118064839A
(43)申请公布日2024.05.24
(21)申请号202410210797.1
(22)申请日2024.02.26
(71)申请人大正（江苏）微纳科技有限公司
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