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一种高纯气体发生装置，所述装置设置有防护壳和显示屏，所述防护壳内安装滤材活化室，所述滤材活化室前端安装气泵、除尘滤芯和进气口，滤材活化室后端安装储气罐，所述储气罐上设置稳压阀和高纯气体排出口，所述滤材活化室内安装两组滤管，所述滤管前端安装三通选择电磁阀和废气排出口连接气泵，滤管后端安装电磁稳流阀连接储气罐，两组滤管之间设置有半导体冷热双极片，所述高纯气体发生装置的使用方法为空气通过除尘滤芯和滤材活化室内的滤管进行处理后获得高纯气体，高纯气体通过电磁稳流阀进入到储气罐内储存和使用；装置工作时滤材活
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220990134U
(45)授权公告日2024.05.24
(21)申请号202322808401.7B01D53/04(2006.01)
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