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弹性波装置和弹性波装置的制造方法.pdfVIP

弹性波装置和弹性波装置的制造方法.pdf

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    提供使贯通过孔在基板(第二基板)的第二面所占的区域小型化的弹性波装置和弹性波装置的制造方法。弹性波装置具有：第一基板；压电层，具有在第一基板的厚度方向上与第一基板对置的一个主面和在厚度方向上朝向与一个主面相反的方向的另一个主面；功能电极，设置于压电层的一个主面和另一个主面中的至少一者；以及第二基板，具有与压电层的另一个主面对置的第一主面、在厚度方向上朝向与第一主面相反的方向的第二主面、以及从第一主面贯通至第二主面的贯通孔，以相对于第二主面的法线为基准，贯通孔的侧面随着从第二主面去往第一主面而倾斜

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN118077147A

    (43)申请公布日2024.05.24

    (21)申请号202280068010.1(74)专利代理机构中科专利商标代理有限责任

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