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本申请提供了一种温度畸变热流产生及供应调节系统及其控制方法，所述系统包括测控系统以及通过管路依次连接的气源装置、减压调节装置、过滤器、用于调节流量和压力的精密调节装置、电加热装置、内置有内置加热器的掺混稳流装置、温度传感器、压力传感器、流量计、第一快速开关阀、第二快速开关阀。本申请攻克了温度畸变高可靠性、可控性和稳定性的高速率温升的技术难点，兼顾电加热方式结构简单、周向与径向畸变可控的优点，同时避免了电加热方式总压损失、难以实现瞬时温升率的缺点，安全、可靠供应满足要求温度、流量的热流，并具有实时
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118067403A
(43)申请公布日2024.05.24
(21)申请号202410114628.8G01M15/02(2006.01)
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