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本发明的一种双靶材磁控溅射反应腔室,腔室由内设的隔板分隔为底部贯通的子腔室A和子腔室B,于腔室的腔底设有可移动至子腔室A、子腔室B底部的载片台,子腔室A、子腔室B的顶部分别设有接射频电源的靶材,腔室设有充气口、抽气口。利用子腔室A、子腔室B的挡板防止溅射金属沉积到腔壁上,挡板可拆卸清洗;利用可反复移动的载片台,实现被载片台承载的晶圆依次在子腔室A、子腔室B完成金属阻挡层和金属种子层的溅射,阶梯状的底面挡板使得晶圆暴露于靶材溅射区,而载片台的其他区域则被挡板保护。腔体共用一套射频电源和一套真空系统
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220999810U
(45)授权公告日2024.05.24
(21)申请号202322668547.6
(22)申请日2023.09.28
(73)专利权人江苏芯德半导体科技有限公司
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