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本公开内容的方面涉及用于校正基板的热处理的系统、方法和装置。在一个方面中,产生了具有多个校正吸收系数的校正吸收系数曲线。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118077040A
(43)申请公布日2024.05.24
(21)申请号202280066229.8(74)专利代理机构北京律诚同业知识产权代理
(22)申请日2022.07.
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