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一种用于优化远程等离子体源维护的系统和方法，包括记录来自远程等离子体源的数据。该数据包括在一段时间内远程等离子体源的一个或多个操作特性的测量结果以及系统故障事件的多个指示。该方法可以包括：接收数据；分析数据；以及基于一个或多个操作特性的测量结果与多个系统故障事件之间的相关性，确定操作点的阈值。操作点可以包括在特定时间的一个或多个操作特性的测量结果。阈值表示即将发生的系统故障事件在指定的时间窗口内发生的可能性达到定义的置信度。系统提供用于对远程等离子体源执行预防性维护的通知。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN113474868A
(43)申请公布日2021.10.01
(21)申请号202080014377.6(74)专利代理机构永新专利商标代理有限公司
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