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本发明涉及一种防止设置在基板处理设备下部的接地线断线的基板处理设备的防断线装置，包括：感受器部，设置在基板处理设备的下部；接地部，在一端外廓周围形成既定的阻断区间而阻断粉末的流入；固定部，将接地部固定到感受器部的下部。因此，本发明的效果在于，为了阻断粉末的流入而在接地部的一端形成阻断区间并通过固定部固定到感受器的下部，由此防止接地部的损伤的同时，延长寿命及使用时间，提高生产力且显著减少设备的部件更换费用，提高维护性能。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118073164A
(43)申请公布日2024.05.24
(21)申请号202310071651.9
(22)申请日2023.01.17
(30)优先权数据
10-2022-0158118
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