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本发明涉及一种激光光束传输质量的预测方法和装置,属于半导体技术领域,解决系统评价数据统计量大且权重难以确定的问题。方法包括将激光光束传输质量预测划分为目标层、准则层和方案层;基于分度法原则对目标层、准则层和方案层构造判断矩阵,包括基于激光能量损失、激光光斑形貌和激光光路稳定性相对于目标层的重要性构建一级指标判断矩阵;对应方案相对于激光能量损失、光斑形貌和激光光路稳定性的重要性分别构建多个二级指标判断矩阵;基于判断矩阵生成组合权重矩阵和基于评语集生成隶属度矩阵;基于组合权重矩阵和隶属度矩阵生成综合
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118089929A
(43)申请公布日2024.05.28
(21)申请号202410207224.3G06F17/10(2006.01)
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