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- 2024-05-29 发布于四川
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一种半导体电热膜质量检测装置，用于对半导体电热膜进行形变检测，包括电热膜固定组件、电热膜形变控制组件和控制台底座，所述电热膜固定组件和电热膜形变控制组件设于控制台底座上，所述电热膜形变控制组件与控制台底座之间转动连接，所述电热膜固定组件用于对半导体电热膜进行固定，所述电热膜形变控制组件转动时使半导体电热膜发生形变，通过限定电热膜形变控制组件的转动角度可以控制半导体电热膜每次发生形变时的形变量，提高了半导体电热膜的检测效率。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118090461A
(43)申请公布日2024.05.28
(21)申请号202410468699.8
(22)申请日2024.04.18
(71)申请人中熵科技（徐州）有限公司
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