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一种原子层沉积设备的送片装置.pdfVIP

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  • 2024-05-29 发布于四川
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一种原子层沉积设备的送片装置.pdf

    本实用新型公开了一种原子层沉积设备的送片装置，包括一级机构、二级机构、三级机构和装载舟，一级机构包括两块侧夹板和一块中间夹板，两块侧夹板之间设有主动齿轮和两个从动齿轮，其中一块侧夹板上设有电机，电机与主动齿轮连接，二级机构卡接在两块侧夹板的上端面，二级伸缩板的下端面设有齿条，齿条与三个齿轮均啮合，二级伸缩板的上端面设有两条同步槽，同步槽内设有销子和同步轮，销子与同步槽滑动连接，同步槽内设有钢索，侧夹板的侧壁上设有张紧机构，钢索的一端与销子固定连接，钢索的另一端绕过同步轮，且与张紧机构固定连接，三

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN221041073U

    (45)授权公告日2024.05.28

    (21)申请号202322752278.1

    (22)申请日2023.10.13

    (73)专利权人浙江大学绍兴研究院

    地址31

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