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一种基于半导体制造执行系统进行批次抽样的方法.pdfVIP

一种基于半导体制造执行系统进行批次抽样的方法.pdf

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    本发明涉及一种基于半导体制造执行系统进行批次抽样的方法，包括：制定批次抽样计划；发布抽检任务，将抽样计划与产品工艺流程相关联，配置批次的优先级；创建多条同一工步的抽样计划任务，配置不同抽样计划任务的优先级；批次经过抽样准备后，将批次的优先级与抽样计划任务的优先级进行匹配；匹配到相同优先级，则批次执行对应的抽样计划任务；如果没有匹配成功，就执行优先级为空的抽样计划任务，再校验批次抽样是否符合抽样方式，不符合就跳过。本发明的方法，通过制定批次抽样计划、配置优先级来识别批次在量测站点是否要进行抽样，支

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN118093131A

    (43)申请公布日2024.05.28

    (21)申请号202410228363.4

    (22)申请日2024.02.29

    (71)申请人上海哥瑞利软件股份有限公司

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