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本实用新型提供一种显影设备，包括显影罐体、超声波浓度计。显影罐体的顶端设置第一开口，显影罐体内盛装显影液；超声波浓度计通过第一开口插入显影罐体内的显影液中，超声波浓度计实时监测显影液的活性物质浓度，进而实现了对显影液内活性物质浓度进行实时监测的目的，从而便于操作人员向显影罐体内及时补充显影液或者补充显影液内的活性物质，从而使得操作人员能够准确判断显影终点，在设定显影终点能够获取所需结构形貌的光栅产品，提高了相同结构形貌的光栅成品的制备良率，且降低了相同结构形貌的光栅成品的制备成本。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN221039790U
(45)授权公告日2024.05.28
(21)申请号202322842245.6
(22)申请日2023.10.23
(73)专利权人北京至格科技有限公司
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