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一种集成的双光子聚合加工装备.pdfVIP

一种集成的双光子聚合加工装备.pdf

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    本实用新型材料加工设备技术领域，具体涉及一种集成的双光子聚合加工装备。该设备包括激光光路系统，激光光路系统包括沿激光束输出方向依次设置的激光器、快门、扩束镜、反射镜、扫描振镜和物镜组件，物镜组件包括浸油物镜和普通聚焦物镜，浸油物镜与普通聚焦物镜切换对准激光束，通过浸油物镜加工的结构分辨率大于通过普通聚焦物镜加工的结构分辨率，还包括运动系统、运动控制系统、激光控制器、CCD视觉定位系统和机床床身系统，该集成的双光子聚合加工装备既能加工宏观结构也能加工微细结构，且具有加工效率高的优点。

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN221019124U

    (45)授权公告日2024.05.28

    (21)申请号202320995866.5

    (22)申请日2023.04.27

    (73)专利权人广东工业大学

    地址51000

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