系列照明条件的叠层成像方法及装置.pdfVIP

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  • 2024-05-29 发布于四川
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系列照明条件的叠层成像方法及装置.pdf

本发明涉及计算成像技术领域,特别涉及一种系列照明条件的叠层成像方法及装置,其中,方法包括:在不同的离焦条件下,对目标样品的同一区域进行扫描,得到多个衍射数据;根据目标样品的初始物函数和多个衍射数据的每个衍射数据对应的初始光源函数计算正向传播过程中的多个模拟数据;计算多个衍射数据和多个模拟数据的损失函数;求解损失函数关于待优化参数的梯度,根据梯度优化待优化参数,迭代计算损失函数和优化过程,直至满足预设终止条件,得到优化后的参数,以利用优化后的参数对目标样品进行叠层成像。由此,解决了现有多片层叠层成

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN118097022A

(43)申请公布日2024.05.28

(21)申请号202410308457.2

(22)申请日2024.03.18

(71)申请人清华大学

地址100084

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