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一种高纯氟气压缩机.pdfVIP

一种高纯氟气压缩机.pdf

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    本发明提供了一种高纯氟气压缩机，包括沿自身长度方向固定连接的导向气缸和工作气缸以及驱动机构，所述导向气缸和工作气缸内分别设置有导向活塞和工作活塞；驱动机构能够带动导向活塞沿导向气缸长度方向往复运动，工作活塞能够跟随导向活塞运动，导向气缸和工作气缸之间设置有一将两个气缸分隔开的膜片，工作气缸远离导向气缸的一端设置有吸气口和排气口，吸气口连接有高纯氟气发生装置。本发明提供的一种高纯氟气压缩机的优点在于：密封效果好，机结构简单，制造成本低，安装及维护方便，寿命长，安全可靠，具有良好的推广前景。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN107905976A

    (43)申请公布日

    2018.04.13

    (21)申请号20171

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