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本实用新型涉及半导体制造技术领域，特别涉及一种板间清理工具及光刻机台，包括：工作台组件、夹持组件、清理件、把手本体和输气组件，所述夹持组件和所述把手本体均与所述工作台组件连接，且设置于所述工作台组件的同一侧，所述夹持组件用于夹持所述清理件，并将所述清理件固定于所述工作台组件上，所述工作台组件上开设有至少一个出气孔，所述把手本体上开设有送气孔，所述出气孔通过所述送气孔与所述输气组件连通，外界的高速气流一方面会将未清理死角中的杂质吹出，另一方面高速气流会将清理件的清理痕迹进行清除，保证了本申请所清理
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN221039778U
(45)授权公告日2024.05.28
(21)申请号202322383970.1
(22)申请日2023.09.01
(73)专利权人武汉楚兴技术有限公司
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