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一种离子注入系统，具有用于产生离子束的离子源，以及用于限定具有处于第一电荷状态的所需离子的第一离子束的质量分析装置。第一直线加速器将第一离子束加速到多个第一能量。电荷剥离器从所需离子剥离电子，从而限定处于多个第二电荷状态的第二离子束。第一偶极磁体以第一角度在空间上分散和弯曲第二离子束。电荷限定孔使所述第二离子束的所需电荷状态通过，同时阻挡多个第二电荷状态的剩余部分。四极装置在空间上聚焦第二离子束，从而限定第三离子束。第二偶极磁体以第二角度弯曲第三离子束，并且其中，能量限定孔仅使所需离子以所需能量
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118103943A
(43)申请公布日2024.05.28
(21)申请号202280068562.2(74)专利代理机构北京中原华和知识产权代理
(22)申请日2022.10.
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