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用于束均匀性控制的具有可变电极厚度的离子提取组合件.pdfVIP

用于束均匀性控制的具有可变电极厚度的离子提取组合件.pdf

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    提供一种用于离子源的离子提取组合件。所述离子提取组合件可包括多个电极，其中所述多个电极包括：面对等离子体电极，被布置用于耦合到等离子体腔室；以及面对衬底电极，设置在面对等离子体电极之外。所述多个电极中的至少一个电极可包括栅格结构，所述栅格结构对多个孔洞进行界定，其中所述至少一个电极具有不均匀的厚度，其中所述至少一个电极的中间区中的第一栅格厚度与所述至少一个电极的外部区中的第二栅格厚度不同。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN118103939A

    (43)申请公布日2024.05.28

    (21)申请号202280068646.6德米特里·卢博米尔斯基

    (22)申请日2022.09.27

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