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一种压电式力传感器晶组成型装置及其封装方法,包括上盖和下盖,上盖和下盖为一端开口,一端封闭的结构,在封闭端中部为四个圆柱形凸起在封闭端中部为不少于三个圆柱形凸起,用于定位平面,围绕圆柱形凸起四周对应设置有定位孔,可与定位销紧密配合,用于承载晶片或电极。与现有技术相比,本发明的有益效果:采用定位销和定位孔的,可以进行机器自动装配,避免装配过程中出现误差,一致性好,避免加工过程中的微损伤对晶片的力学性能产生影响,提高传感器的可靠性。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN111864052A
(43)申请公布日2020.10.30
(21)申请号201910991297.5
(22)申请日2019.10.18
(71)申请人辽宁省交通高等专科学校
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