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2024年中国晶圆检测设备行业分析报告
半导体工艺控制核心设备,国产化率持续提升
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◆中国晶圆检测设备行业综述
CONTENTS•行业定义:半导体过程控制(量/检测)设备是保证芯片生产良品率的关键
•行业分类:半导体检测从工序上可分为前道量检测、后道检测和实验室检测
•技术路线:量/检测技术主要包括光学检测技术、电子束检测技术和X光量测技术
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