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本发明公开了一种高纯BOE蚀刻液生产设备及其生产工艺，包括：去气腔室，其下端的直径大于其上端的直径；进料管和出料管，均与去气腔室底部连通，且具有可控制管道开关的阀门；旋转轴，转动设置在去气腔室内部，可通过动力驱动旋转轴高速转动。本发明中随着旋转轴和扇叶的旋转，使得去气腔室内的溶液跟随旋转，溶液在去气腔室内壁旋转，而去气腔室内的横截面越小的方位，溶液流速越大，在此过程中，由于离心力的作用，溶液中的液体向去气腔室内壁方向聚集，气体因质量小于液体而向中心方向的旋转轴聚集，从而在旋转轴附近形成气体带，则
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118079467A
(43)申请公布日2024.05.28
(21)申请号202410196555.1
(22)申请日2024.02.22
(71)申请人江苏联恒电子新材料科技有限公司
地
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