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本发明提供一种基于钛酸钡/二硫化钼异质结的光电探测器及制作方法，该方法包括：提供一衬底；于衬底上形成钛酸钡层；于钛酸钡层上形成二硫化钼层，其中，钛酸钡层与二硫化钼层构成钛酸钡/二硫化钼异质结。本发明中通过构建钛酸钡/二硫化钼异质结，能够实现紫外‑可见波段的全吸收，并且，两种材料的势能差在界面处能形成内建电场促进光生载流子的分离，同时钛酸钡的极化电场能影响接触界面的空间电荷区，增强能带弯曲程度，进一步加强光生电荷的分离与传输，进而减小光电器件的暗电流，实现更高的光响应度与更快的响应速度。另外，在钛
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118099271A
(43)申请公布日2024.05.28
(21)申请号202211493096.0
(22)申请日2022.11.25
(71)申请人华润微电子（重庆）有限公司
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