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一种基于硅棒转移保护装置的单晶硅生长炉.pdfVIP

一种基于硅棒转移保护装置的单晶硅生长炉.pdf

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    本申请公开了一种基于硅棒转移保护装置的单晶硅生长炉，包括底部基座、下炉体、上炉体、炉盖、连接腔室以及转移炉体，转移炉体顶部安装有提升单元，转移炉体内具有夹具单元，底部基座处安装有第一旋转驱动单元，第一旋转驱动单元处安装有第一液压升降单元，第一液压升降单元的顶端固定连接有竖杆单元，竖杆单元通过第一连接架与转移炉体固定连接；转移炉体处安装有转移保护装置。本申请的单晶硅生长炉，通过使用夹具、提升单元、液压升降单元、转移保护装置的配合，可以实现硅棒的逐步提升、转移和下降过程，通过激光测距单元的测距和托板

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN118087021A

    (43)申请公布日2024.05.28

    (21)申请号202410236723.5

    (22)申请日2024.03.01

    (71)申请人江苏晶品新能源股份有限公司

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