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本发明提供一种减小重掺晶棒宽面的拉晶方法,涉及重掺单晶硅拉晶方法技术领域,将多晶硅料和掺杂剂放置在石英坩埚中,在氩气气氛下加热至稳定的熔硅;在稳定的熔硅中进行引晶、放肩,进入等径生长阶段;在等径的全阶段按照预定拉速曲线、预定补温曲线、预定初始埚位及埚跟比进行晶棒拉制,使得纵向温度梯度平稳且缓解晶棒生长界面的过冷度,防止宽面增大。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118087027A
(43)申请公布日2024.05.28
(21)申请号202410311083.XC30B29/06(2006.01)
(22)申请日2024.03.
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