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2024-05-29 发布于四川
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一种便于晶圆取放的承载盘.pdf

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本实用新型属于晶圆取放技术领域，公开了一种便于晶圆取放的承载盘，包括底座，所述底座的上端固定连接有外壳，外壳的外端转动连接有弧形板，所述弧形板的外端固定安装有标签，弧形板的外端固定连接有把手块，所述外壳的内壁滑动连接有移动板，本实用新型通过L型底座的设计，便于将装置平方或竖放，通过旋转旋钮带动齿轮一进行旋转，使齿轮二带动螺纹杆进行旋转，使螺纹板带动连接块一端的移动板进行移动，便于将移动板移出外壳外，便于将晶圆进行单独的放置或取出，提高装置实用效果，通过旋转弧形板将外壳进行密封，便于减少杂物进入装

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN221041056U

(45)授权公告日2024.05.28

(21)申请号202322393299.9

(22)申请日2023.09.05

(73)专利权人南通伟腾半导体科技有限公司

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