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本发明涉及一种传送装置,尤其是硅片分片及吸片送片装置,包括传送装置、分片装置、升片装置和送片装置;所述传送装置安装在分片装置一端,分片装置安装在水箱内,分片装置的另一端装有升片装置,升片装置的上方装有送片装置;所述分片装置的分片水刀将竖向放置的硅片分离,分离后的硅片由升片装置的升片皮带吸附并传送到送片装置的送片皮带上,送片皮带将竖向的硅片变成水平状。本发明提供的硅片分片及吸片送片装置结构简单、能自动将堆垛的硅片分离、并将分离后的硅片输送到插片机上、分片效率高、不易碎片、送片稳定、整体稳定运行时间
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN110391149A
(43)申请公布日
2019.10.29
(21)申请号20181
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