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2024-05-29 发布于四川
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一种方便定位的晶圆盘夹具.pdf

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本实用新型公开了一种方便定位的晶圆盘夹具，包括工作台，所述工作台下端左部和下端右部均安装有支撑脚，所述工作台前端中部安装有接料装置，所述工作台上端左部和上端右部均开有滑槽两个所述滑槽上端均安装有固定座，两个所述固定座后端共同安装有调节装置，两个所述固定座对应的一端共同安装有夹持装置。本实用新型所述的一种方便定位的晶圆盘夹具，通过夹持装置上的一号液压缸带动夹持架进行活动调节，进而使晶圆盘固定在两个夹持架内，而且夹持架内壁上的若干个橡胶凸点对晶圆盘进行夹持，不仅进一步提高了装置的夹持效果，同时橡胶凸

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN221041087U

(45)授权公告日2024.05.28

(21)申请号202322073883.6

(22)申请日2023.08.03

(73)专利权人无锡迪渊特科技有限公司

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