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一种微反射镜阵列产生照明光瞳方法及装置，方法包括步骤：将目标光场转换为与微反射镜阵列中微反射镜数量相同的光斑，并提取光斑坐标；将光斑坐标与微反射镜的中心坐标一一对应，计算各微反射镜的X轴和Y轴偏转角度；控制各微反射镜旋转至其对应的偏转角度产生与目标光场相近的照明光瞳。本申请根据目标光场强度大小分解为与微反射镜相同数量的光斑，将每个光斑坐标与微反射镜中心点坐标一一对应，即可直接求解每个微反射镜的偏转角，使得入射光经微反射镜后到达特定的坐标，可实现可变自由照明光瞳；该方法速度快，可控性强，完全脱离优
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118091938A
(43)申请公布日2024.05.28
(21)申请号202410343082.3
(22)申请日2024.03.25
(71)申请人上海镭望光学科技有限公司
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