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本发明涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种机械手及半导体传送设备。该机械手包括基座、升降部、夹取部和导向部，基座的内部设有内腔，基座的顶部设有与内腔相连通的通孔，沿第一方向，导向部包括第一导向结构和第二导向结构，第一导向结构设于内腔内，第二导向结构设于通孔内，升降部以可沿第一方向滑动的方式与第一导向结构相连接，夹取部通过连接部与升降部连接，夹取部包括相连接的连接结构和夹持结构，连接结构以可沿第一方向滑动的方式与第二导向结构相连接，且夹持结构位于内腔的外侧。通过这种双重导向结构的设置，显著减少了连
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118099064A
(43)申请公布日2024.05.28
(21)申请号202410063586.X
(22)申请日2024.01.16
(71)申请人北京子牛亦东科技有限公司
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